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Dispositivo di depurazione in grado di ottenere il 99,99% di SF6 in conformità al nuovo standard di riduzione delle emissioni di gas, KSLF-30WY20/63/100/N

Efficienza della depurazione: 99,99% di concentrazione di SF6
Capacità di elaborazione: 6-20 nm³/h (modello-dipendente)
Precisione della filtrazione: Particelle da 0,1 μm, umidità ≤3ppm
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